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微加工技术工艺原理与实验 陈军等编著 微加工技术工艺中的光刻 刻蚀 薄膜沉积 氧化和掺杂等工艺 清华大学出版社 正版

纳米加工技术与原理 纳米加工研究方向简介 纳米尺度下的刻蚀及图形化工艺 温度对工艺窗口的影响 电子束曝光抗蚀剂工艺的模拟仿真

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